等离子刻蚀机 Plasma Etching Machine
型号规格 中国科云鼎娱乐城网 微电子所 ICP-98A
仪器联系人 陈王华
存放地点 龙赛理科楼北楼106应用范围 利用感应耦合等离子体（ICP）技术进行刻蚀的设备。
